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金屬化學氣相沉積-化學氣相沉積-拉奇納米

普通的電鍍、電泳處理的后的產品的耐鹽霧時間僅能達到70-100小時。而采用parylene可以達到300-500小時。其耐腐蝕時間是前者的4-5倍。磁性材料(絕緣、防銹、防線傷、填補穩定特性制作) 鑄造部件 經parylene處理的表面不會有微粒產生,同時可以增強工作的可靠性,金屬化學氣相沉積,并且可防止污染。
parylene在精密電子儀器設備pcba,fpc,多功能化學氣相沉積,smd上的應用
parylene涂層是在室溫下在元件上自發形成的,不需要經升溫固化過程,不需要對基材施加室溫以上的溫度和更多的時間來讓膜生長。parylene有高的機械強度和低的摩擦系數,化學氣相沉積,這二者的結合使parylene成為對小型繞線傷害元件絕緣層。parylene是這些*組裝方式的防護材料。parylene活性分子的良好穿透力能在元件內部,化學氣相沉積加工,底部和周圍形成無氣隙的防護層。
放電產生的正離子在電場作用下飛向陰*,與靶表面原子碰撞,受碰撞從靶面逸出的靶原子稱為濺射原子,其能量在1至幾十電子伏范圍。濺射原子在基片表面沉積成膜。與蒸發鍍膜不同,濺射鍍膜不受膜材熔點的限制,可濺射w、ta、c、mo、wc、tic等難熔物質。濺射化合物膜可用反應濺射法,即將反應氣體 (o、n、hs、ch等)加入ar氣中,反應氣體及其離子與靶原子或濺射原子發生反應生成化合物(如氧化物、氮化物等)而沉積在基片上。沉積絕緣膜可采用高頻濺射法。
用parylenec涂敷的鋼板,在–160℃的液氮中冷卻,在gardner落體試驗中可以承受超過100in-lb的沖擊。相比之下,室溫下為250in-lb。無支持的0.002英寸的parylenec薄膜在–165℃下可以彎折180°6次才失效。相比膠而言,聚乙烯、聚氨酯和聚*分別為3次、2次和1次。從2°(–271℃)到室溫環境的過程對電氣和物理性能都沒有影響。對于parylenec的厚度從0.002英寸到0.0001英寸的測試效果如表2.很故意思的是,即使對于特別很是薄的涂層(0.0001英寸),絕緣阻*值也比規定的規格高出一個數量級。
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