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羅茨真空機組中，真空室內的運動部件不得用機油作潤滑劑，無油真空機組哪家好，要用飽和蒸氣壓低的擴散泵油、硅油作潤滑劑，法蘭、觀察窗的密封部件要涂以高真空油脂。羅茨真空機組一般應在溫度為15～30℃，相對濕度不高于70%的清潔空氣流通的環境中工作，冷卻水進水溫度不高于25 ℃。
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真空機組的維護步驟：
1、檢查冷卻水是否暢通，泵體及泵蓋等部位有無泄漏現象。
2、定期檢查潤滑油質及油位，發現變質和缺油及時更換和加油。
3、經常檢查各部位溫度是否正常。
4、經常檢查各部位的緊固件有無松動、泵體有無異常聲音。
5、隨時檢查儀表數值指示是否正常。
6、停車時，先關閉真空系統的閥門，然后關電源，后關閉冷卻水閥門。
7、在冬季，停車后必須將泵體內冷卻水放出。
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真空機組運行故障原因及解決方法：
振動大原因：
1、機座與基礎接觸不良，地腳螺栓松動；
2、對中不好。
處理方法：
1、用混凝土填充底座空隙，擰緊地腳螺栓；
2、重新對中和鎖緊。
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