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噴氦法氦質(zhì)譜檢漏方法
這是常用的一種方法，一般用于檢測(cè)體積相對(duì)較小的部件，將被檢器件和儀器連通，在抽好真空后，在被檢器件可能存在漏孔的地方(如密封接頭，焊縫等) 用噴噴氦，槽車氦檢漏服務(wù)，如圖4 所示，氦檢漏服務(wù)，如果被檢器件某處有漏孔，當(dāng)氦噴到漏孔上時(shí)，氦氣立即會(huì)被吸入到真空系統(tǒng)，從而擴(kuò)散到質(zhì)譜室中，氦質(zhì)譜檢漏儀的輸出就會(huì)立即有響應(yīng)，使用這種方法應(yīng)注意:氦氣是較輕的惰性氣體，在噴出后會(huì)自動(dòng)上升，為了準(zhǔn)確的在漏孔位置噴氦，噴氦時(shí)應(yīng)自上而下，由近至遠(yuǎn)(相對(duì)檢漏儀位置) ，這是因?yàn)樵趪娤路綍r(shí)氦氣有可能被上方漏孔吸入，就很難確定漏孔的位置;再者漏孔離質(zhì)譜室的距離檢漏儀反應(yīng)時(shí)間也不同，所以噴氦應(yīng)先從靠近檢漏儀的一側(cè)開始由近至遠(yuǎn)來(lái)進(jìn)行。
試漏壓力與運(yùn)行過(guò)程中受到的較大壓力相同
許多密封件是在一定的壓力閾值下出現(xiàn)泄漏。如果未在運(yùn)行過(guò)程的壓力下試漏，那么一些漏孔則不宜檢測(cè)出來(lái)。因此，在測(cè)漏過(guò)程中采用較高的測(cè)試壓力，可有效檢測(cè)出在實(shí)際運(yùn)行中未出現(xiàn)的漏孔。
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背壓法氦質(zhì)譜檢漏
采用背壓法檢漏時(shí)，首先將被檢產(chǎn)品置于高壓的氦氣室中，浸泡數(shù)小時(shí)或數(shù)天，如果被檢產(chǎn)品表面有漏孔，氦氣便通過(guò)漏孔壓入被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔中，使內(nèi)部密封腔中氦分壓力上升。然后取出被檢產(chǎn)品，壓縮機(jī)氦檢漏服務(wù)，將表面的殘余氦氣吹除后再將被檢產(chǎn)品放入與檢漏儀相連的真空容器內(nèi)，被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔內(nèi)的氦氣會(huì)通過(guò)漏孔泄漏到真空容器，再進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，從而實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率測(cè)量。檢漏儀給出的漏率值為測(cè)量漏率，需要通過(guò)換算公式計(jì)算出被檢產(chǎn)品的等效標(biāo)準(zhǔn)漏率。
背壓法的優(yōu)點(diǎn)是檢測(cè)靈敏度高，能實(shí)現(xiàn)小型密封容器產(chǎn)品的泄漏檢測(cè)，可以進(jìn)行批量化檢測(cè)。
背壓法的缺點(diǎn)是不能進(jìn)行大型密封容器的漏，否則由于密封腔體容積太大，導(dǎo)致加壓時(shí)間太長(zhǎng)。此外，每個(gè)測(cè)量漏率都對(duì)應(yīng)兩個(gè)等效標(biāo)準(zhǔn)漏率，在細(xì)檢完成后還需要采用其它方法進(jìn)行粗檢，排除大漏的可能。
背壓法的檢漏標(biāo)準(zhǔn)主要有qj3212-2005《氦質(zhì)譜背壓檢漏方法》、gjb360a-1996《電子及電氣元件試驗(yàn)方法方法112 密封試驗(yàn)》，主要應(yīng)用于各種電子元器件產(chǎn)品檢漏。
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