賽儀歐電子S540全自動晶圓級參數(shù)測試系統(tǒng)
s540全自動晶圓級參數(shù)測試系統(tǒng),也稱功率半導(dǎo)體參數(shù)系統(tǒng)。
s540是一個全自動化的 48 引腳參數(shù)測試系統(tǒng),適用于高達 3kv 的功率半導(dǎo)體器件和結(jié)構(gòu)的晶片級測試。完全集成式 s540 已針對包括碳化硅 (sic) 和氮化鎵 (gan) 在內(nèi)的新復(fù)合功率半導(dǎo)體材料進行優(yōu)化,可以在單次測試觸摸中執(zhí)行所有高電壓、低電壓和電容測試。
s540 功能
在單次探頭觸摸中自動在多達 48 個引腳上執(zhí)行所有晶片級參數(shù)測試,包括高電壓擊穿、電容和低電壓測量,而無需更改電纜或探頭卡基礎(chǔ)設(shè)施
在高達 3kv 的條件下執(zhí)行晶體管電容測量,如 ciss、coss 和 crss,而無需手動配置測試引腳
在高速、多引腳、全自動測試環(huán)境中實現(xiàn)低電平測量性能
基于 linux 的 keithley 測試環(huán)境 (kte) 系統(tǒng)軟件支持輕松進行測試開發(fā)和快速執(zhí)行
非常適合于過程集成、過程控制監(jiān)控和生產(chǎn)芯片分類中的全自動或半自動應(yīng)用
通過大程度減少測試時間、測試設(shè)置時間和占地面積,降低擁有成本,同時實現(xiàn)實驗室級測量性能