上海微電子裝備有限公司(物流采購)
上海微電子裝備有限公司是一家集微電子裝備開發、設計、制造、銷售及技術服務(涉及許可經營的憑許可證經營),經營本企業自產產品的出口業務和本企業所需的機械設備、零配件、原輔材料的進口業務(但國家限定公司經營或禁止進出口商品及技術除外)。1.上海微電子裝備有限公司(簡稱SMEE),坐落于上海市的國家級高新技術開發區——浦東張江高科技園區。SMEE主要從事用于集成電路制造的中高端光刻機等關鍵設備的開發、制造和技術支持與服務,以幫助客戶和合作伙伴取得成功。2.SMEE是國家光刻設備工程技術研究中心的依托單位,擁有一批適用于集成電路關鍵設備研發的專用設施,包括多個研發試驗、中試、總裝集成平臺,擁有完整的成套曝光工藝實驗設備和精密機械零件加工與測量設備,具有完備的光學設計、結構設計、動力學仿真、光刻仿真、控制系統設計、軟件編碼與測試等開發環境,可根據用戶的需求獨立進行光刻機總體設計、集成調試、安裝測試。公司研發制造的設備產品有:SSA600/10型步進掃描投影光刻機SSB500/10A型步進投影光刻機、SSB500/10B先進封裝光刻機、STTP5000-1/10超精密溫度控制裝置(TCU)、高精密溫度控制裝置(Chiller)